Трифторид азота (NF3)
| Класс чистоты | Чистота | Примеси [ppm] | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CO2 | CO | CF4 | N2 | N2O | O2 + Ar | SF6 | H2O | Фториды | |||||
| Трифторид азота 4.5 | ≥99,995% | 4 | 0,5 | 25 | 10 | 2 | 6 | 1 | 1 | 1 | |||
Нужна помощь в выборе чистоты?
Мы можем поставлять трифторид азота высокой чистоты в своих баллонах, предоставлять баллоны в аренду или наполнять в баллоны клиента. Основную часть нашей номенклатуры составляет трифторид азота в следующих баллонах:
- Баллоны чешской марки Vitkovice, любого объёма
Если у вас есть свои баллоны - то вы можете предоставить их нам на обмен. Подробнее о требованиях к баллонам мы написали в этой статье.
Также мы можем заправить ваши баллоны. Нужно только, чтобы ваши баллоны соответствовали требованиям, описанным здесь. Такие правила безопасности.
Бесцветный ядовитый газ, имеет характерный запах плесени, плохо растворяется в воде. Тяжелее воздуха. Вызывает коррозию металлов.
Международная маркировка в соответствии с СГС (GHS)
Сигнальное слово: ОСТОРОЖНО
H–фразы: Сжиженный газ → H280 – Содержит газ под давлением; при нагревании может произойти взрыв; H270 – Может вызывать или усиливать горение; окислитель. H332 – Наносит вред при вдыхании; H373 – Может наносить вред внутренним органам в результате длительного или многократного воздействия.
ADR Класс: 2 2O (Окисляющий)
Трифторид азота получают прямым каталитическим фторированием аммиака. Его также можно получить электролизом расплавленного бифторида аммония.
- Трифторид азота используется в качестве высокоскоростного селективного травителя при обработке кремния. Он используется для травления кремния, поликремния, нитрида кремния и оксида кремния, а также тугоплавких металлов и силицидов.
- Трифторид азота используется для очистки камер химических паров для производства солнечных элементов и светодиодных экранов.
- Трифторид азота в последнее время представляет интерес как источник азота для создания нитридных слоев путем химического осаждения из паровой фазы.
- Трифторид азота используется в качестве источника фтора в химических лазерах HF / DF.
- Трифторид азота используется в качестве фторирующего агента.
- Трифторид азота используется для обработки волокон.
| Молярная масса | 71,002 г/моль | |
| Точка кипения | При давлении 101,3 кПа | -129,05°С |
| Плотность | При температуре 20°С и давлении 101,3 кПа | 3,015 кг/м3 |
| Относительная плотность по воздуху | 2,45 | |
| Удельный объём | При температуре 15°С и давлении 101,3 кПа | 0,332 м3/кг |